應用范圍：

Nernst 微電子行業便捷式微量氧分析儀是專門針對微電子行業設計制造的第7代微氧分析儀。廣泛應用于快速退火爐，Rapid Thermal Processing，真空焊接爐,電子行業芯片制造,生物醫藥業,精密零部件光亮退火爐,高強合金刀具涂層處理設備等,以及各種小型設備上需控氧的工藝。由于采用長壽命，高精度氧化鋯片結構原理，可有效測量微氧，所測微氧量可達10^-30%~氧含量，特別適合對產品工藝氧含量要求控制要求嚴格設備和工藝。分析儀實時提供爐內或煙道內煙氣的含量O₂%(百分比)以及12種其他有用的參數。微氧氣分析儀也適用于其他各種需要測量高精度氧氣含量的領域。

微電子行業便捷式微量氧分析儀 技術特點：

◆ 氧探頭傳感器：內置式高精度片狀氧化鋯傳感器，反應速度快。

◆ 多路輸出控制：儀器有兩路4～20mA電流輸出及計算機通訊接口RS232或網絡通訊接口RS485。

◆ 測 量 范 圍： 測氧范圍10的負30次方至氧量。

◆ 氧量顯示單位：百分含量%，PPM方式，科學計數法E-X%自動轉換。

◆ 報 警 設 置： 儀器有1路通用報警輸出以及3路可編程序報警輸出。

◆ 自 動 校 正： 儀器會自動監測各功能系統并自動校正以保證儀器測量時的精度。

◆ 智 能 系 統： 儀器可人機對話并按預定的設置完成各項設置的功能。

◆ 顯示輸出功能：儀器有很強的顯示各種參數的功能并具有很強的各種參數的輸出和控制功能。

◆ 安 全 功 能： 當爐子停止使用時，用戶可控制關閉探頭的加熱器以確保使用時的安全。

◆ 無 需 安 裝： 儀器為一體化便捷式分析儀。

規格和參數：