Nano-rP原子力顯微鏡主要由帶針尖的微懸臂、微懸臂運動檢測裝置、監控其運動的反饋回路、使樣品進行掃描的壓電陶瓷掃描器件、計算機控制的圖像采集、顯示及處理系統組成

Nano-rP原子力顯微鏡主要特點
范圍：80um
直線性：1%
分辨率：0.1nm
Z-Scan:
范圍：8um
分辨率：0.1nm
Z噪訊：0.13nm懸臂傳感器開
       0.07nm懸臂傳感器關
彩色視頻顯微鏡
放大倍數（9”監測器）：1000
自動放大/聚焦：4
視野：140um190um
解析度：1.5um
自動X-Y臺：
範圍：25.4 x 25.4 mm
步長：3um
回轉速率：1.2mm/sec
掃描模式：
—接觸模式
—側力模式
—緊密接觸模式
—非接觸模式
—原料感模式
—力/距離模式