iMOXS測量系統產品介紹：

        借助模塊化X射線源iMOXS（IfG 模塊化X射線源），您可以輕松擴展您的掃描電子顯微鏡(SEM)的功能。iMOXS 使用電子顯微鏡的現有探測器，能夠以較低的成本通過選定法蘭與所有現有類型的SEM結合。您可在SEM的電子源與額外的X射線源之間進行選擇，從而利用一臺設備對樣品進行 X 射線熒光分析與電子束微量分析。通過利用這兩種方法的優勢，您能夠以非常高的分辨率檢測低濃度元素。

iMOXS測量系統特性：

1、模塊化結構設計：X射線管和X射線光學器件能夠依據特定要求輕松調整

2、簡單操作：可通過SEM監控器輕松調整并查看測量位置

3、可通過選定法蘭輕松安裝到所有現有原子力顯微鏡上

4、適用于分析低至10 µm的結構：高質量的多毛細管光學器件可將 X 射線聚焦在小型測量區域上。

5、表面下方檢查：即使表面下方深處的材料也能測量

應用：

1、SEM 映射：快速概覽樣品的元素成分；找出SEM無法看到的元素

2、故障分析，材料失效與材料疲勞測試

3、在 SEM 中直接進行材料分析，例如測定鋁合金中的硅與鋅比例

4、鑒定分析

5、ppm 級的痕量元素證明

檢測重元素 (Z > 18)