日本shibaura油擴散真空泵 ESV系列
ESV系列的功能
該系列采用內部加熱型護套加熱器，可從超高真空區域到高，中和真空區域獲得穩定的壓力，并防止由于油在超高真空下撞擊而引起的壓力波動。
ESV系列由于提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運行時間短，排量大和臨界背壓高的優點。它還需要較少的液壓油。

詳情介紹

日本shibaura油擴散真空泵 ESV系列

使用例

各種真空爐
各種實驗的排氣裝置
各種成膜設備
電子束焊接

ESV系列陣容

模型		單元	ESV-161	ESV-221S	ESV-241
大抽速		升/秒	7,500	13,500	20,000
極限壓力		帕	10 ^-5	10 ^-5	10 ^-5
工作壓力范圍		帕	10 ^-5?0.4	10 ^-5?0.4	10 ^-5?0.4
臨界背壓		帕	33	35	33
大排量		帕升/秒	1,130	1,680	1,460
用油			獅子A	獅子A	獅子A
油量		大號	2	3	五
墊片			氯丁橡膠	氯丁橡膠	氯丁橡膠
加熱器	格式		種子	種子	種子
	電壓，相	ACV，相	200、3	200、3	200、3
	格式	千瓦	5.5	7.5	9.0
錄取			VG400	VG550	VG600
輔助口			VG100	VG150	VG150
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時	11	15	15
輔助泵			KP-4500BG	KP-7500BG	KP-7500BG
擋板格式			16C（雪佛龍）	22L（百葉窗）	24L（百葉窗）
帶擋板的抽速		升/秒	3,000	6,500	8,000
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時	11	3	3
機油倒流率		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-7	10 ^-7	10 ^-7
材料	圓筒		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	160	250	350

模型		單元	ESV-24S	ESV-281S	ESV-361S
大抽速		升/秒	19,000	23,000	39,000
極限壓力		帕	10 ^-5	10 ^-5	10 ^-5
工作壓力范圍		帕	10 ^-5?0.4	10 ^-5?0.4	10 ^-5?0.4
臨界背壓		帕	30	30	40
大排量		帕升/秒	1,300	2,500	2,800
用油			獅子A	獅子A	獅子A
油量		大號	五	五	9
墊片			氯丁橡膠	氯丁橡膠	氯丁橡膠
加熱器	格式		種子	種子	種子
	電壓，相	ACV，相	200、3	200、3	200、3
	格式	千瓦	9.0	12	15.6
錄取			VG600	VG700	VG900
輔助口			VG150	VG200	VG200
冷卻方式			水冷	水冷	水冷
冷卻水量		L / min，在25℃時	15	15	15
輔助泵			KP-7500BG	TMB-1500 + KP-4500BG	TMB-2500 + KP-7500BG
擋板格式			24L（百葉窗）	28L（百葉窗）	28L（百葉窗）
帶擋板的抽速		升/秒	10,500	120,000	22,000
擋板冷卻水量		L / min，在25℃時	3	3	3
機油倒流率		cm ³ / cm ²分鐘	10 ^-8	10 ^-7	10 ^-7
材料	圓筒		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
材料	噴射		鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）	鐵（鍍鎳）
大眾		公斤	200	400	830

[ESV-161]（定做）
帶擋板和油
[ESV-221S]（定做）
帶擋板和油

[ESV-241]（定做）
帶擋板和油
[ESV-24S]（定做）
帶擋板和油

[ESV-281S]（定做）
帶擋板和油
[ESV-361S]（定做）
帶擋板和油

規格和建議零售價如有變更，恕不另行通知。

預防措施

我們的油旋轉真空泵是根據以下用途設計和制造的。
（1）進氣類型空氣和惰性氣體（N ₂，CO ₂，He，Ne，Ar，Xe，Rn ...）
（2）進氣溫度5-40 ℃
（3）環境溫度5- 40℃
（4）常壓10 ^-6至0.4Pa
如果上述操作條件不同，請聯系我們。
在排出腐蝕性氣體（Cl ₂，CCl ₄，CF ₄，BBr ₄，HBr等）時，可能會發生油質劣化和未達到極限壓力的零件腐蝕，從而延長泵體的使用壽命。請注意，將會縮短。
24英寸或更大的大型擴散真空泵對應于《外匯和對外貿易法》規定的物質（或服務），因此需要基于該法律的出口許可證。出口時請咨詢。
本目錄中的性能表會根據我們的測試標準進行測量測試和檢查。
因此，它與設備內置的性能值不同。
油擴散真空泵上涂有耐熱銀粉。
擴散油當
使用標準擴散油以外的擴散油時，擴散油的
比熱可能會不同，因此可能無法發揮出油擴散真空泵的原始性能。
泵冷卻將
油擴散真空泵的冷卻水溫度作為參考，在5至25°C的范圍內。
如果冷卻水的溫度過高，將無法有效地冷卻以蒸汽噴射方式噴射到泵內壁的機油，這會影響泵的性能，例如增加機油的反向流量。
另外，為了保證冷卻水的質量，請使用制量醉高的水。
如果使用水質較差的水，則泵冷卻導管的內部將被堵塞，并且異常高的溫度將引起諸如泵性能差和冷卻導管焊接不冷卻之類的問題。
作為一種措施，當冷卻管內部發生堵塞，且冷卻水不流動時，請使用市售的管道清潔劑等，并清除內部堵塞。
如果上述措施仍不能解決問題，則需要更換冷卻導管，請與我們聯系。
在寒冷地區使用后，請除去冷卻水。它可能會凍結并損壞。
如果還有其他疑問，請與我們聯系。