計量檢測高精度雙頻激光干涉儀
滿足計量檢測用戶更穩定、更高精度、更便利的使用要求；
以光刻機用激光干涉測量系統為基礎，
在保留高穩定性、高精度、高采樣速率高性能的同時，
將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里，
一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；
典型頻差6±1MHz，測速高達2m/s。
系統組成：
LH2000激光測頭及附件
環境補償單元
測量軟件
測量鏡組（選配：位置度測量鏡組、直線度測量鏡組、角度測量鏡組等）
光學調整附件
三腳架及其他測量附件
參數指標：
| 激光頭尺寸 | 330mm×110mm×95mm | |
| 激光頭重量 | 3.3kg | |
| 激光光束直徑 | 6mm | |
| 激光功率 | >0.5mw | |
| 真空波長 |
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| 頻差 | 可定制 典型值6.0MHz | |
| +15℃~+35℃ | |
| 激光穩頻精度 | ±0.02ppm | |
| 線性測量范圍 | 40m | |
| 線性測量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm(使用LC-2000環境補償器) | |
| 分辨率 | 1nm | |
| 測量速度 | 2m/s | |
| 工作電源 | 220V/50Hz | |
| 儲存溫度范圍 | +15℃~+45℃ |
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