INFICON薄膜沉積監(jiān)測(cè)儀IMM-100
特征
INFICON ModeLock 技術(shù)提供最長(zhǎng)的晶體壽命,并確保、分辨率和可用的厚度測(cè)量,即使在非常低的速率下
通過(guò)的 QCM 厚度測(cè)量限度地提高產(chǎn)量
單通道速率和厚度監(jiān)測(cè)器,沒(méi)有不必要的附加功能,以限度地降低成本
± Hz 超過(guò) 100 ms 樣本
用于無(wú)縫集成的 EtherCAT 通信
緊湊的尺寸通過(guò)節(jié)省工具空間來(lái)限度地降低集成成本
專家應(yīng)用支持,能夠討論的應(yīng)用需求并提供比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手更大的支持
符合 RoHS
典型應(yīng)用
OLED應(yīng)用
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