儀器規格及參數
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X射線管 | 油冷式超微細對焦點X射線管 靶材：鎢（W）、鋁（AL）、鉬（MO） 管電壓：0~50kv 管電流：0.1mA |
| 照射方式 | 由上往下垂直照射方式 |
| 檢測器 | 正比例計數管（PC） |
| 儀器校正 | 密度校正，標準樣品校正 |
| 檢測濾片 | Co片，Ni片可選 |
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準直器 | 固定型或自動型 |
| 固定型：可選0.1，0.2，0.3，0.4，0.05x0.3mm | |
| 自動型：0.1，0.2，0.3，0.4，0.05x0.3mm | |
| 輸入電壓 | AC220V |
| 溫度控制 | 前置放大及主機溫度控制 |
| 工作溫度 | 室溫（22~25℃） |
| 真空樣品室 排氣所需時間 | 沒有 |
| 可測量元素范圍 | 鈦（Ti）—鈾（U） |
| 可測量厚度范圍 | 原子序：22-25,0.1-0.8um 26-40,0.05-35um 43-52,0.05-100um 72-82,0.05-5um |
| 測量時間 | 10~30s |
| 操作接口 | Windows XP |
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