P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級),非常適于動態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。
結(jié)構(gòu)原理
平臺由一個鉸鏈支撐,并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點,兼起到給壓電促動器施加預(yù)緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設(shè)計的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價比高等。如果角度偏轉(zhuǎn)時工作環(huán)境溫度變化范圍較大,使用差分驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。
小體積、高動態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選
壓電驅(qū)動俯仰/偏轉(zhuǎn)臺(快反鏡/傾斜鏡,光束偏轉(zhuǎn),相移器)提供比音圈電機(jī)類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬,θx軸偏轉(zhuǎn)范圍為4mrad,偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)0.1μrad,開環(huán)閉環(huán)可選,閉環(huán)傳感器包括應(yīng)變傳感器及電容傳感器,可獲得更高的定位精度。
超小體積設(shè)計,具有非常快的響應(yīng)速度,可帶載Ø15mm的鏡片實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。









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