測試原理：

將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距，施加脈沖高壓，與殘余氣體分子發生碰撞電離，所產生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關系。對于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同，當測知離子電流后，通過離子電流一真空度曲線，由計算機自動完成真空度的計算，并顯示真空度值。

技術參數：

1.真空度測試儀測量范圍：    9.999×10-1～1×10-5

    2.離子電流測量范圍：    9.999×10-1～1×10-7

3.測  量  誤  差：    ＜5%

    4.測 量 分 辨 率：    10-5pa

    5.允許環境溫度：    -20℃～50℃

    6.空  氣  濕  度：    ≤80%RH

    7.電          源：    AC，220V，50Hz±10%

    8.外  型  尺  寸：    420×290×210（mm）

9.高  壓  輸  出：    脈沖≤30kV15kHz

⒑重          量：    8kg

硬件構造：

硬件大致分為四部分

1、CPU主控單元

該部分用于接收用戶指令，控制顯示器進行各種顯示，產生高壓單元所需的脈沖信號，及對磁控電流控制單元發出各種控制指令，負責整個測量過程的精確時序控制，該單元是整個系統的主體。

2、高壓控制板

高壓部分將控制部分送來的具有一定占空比的信號進行功率放大，驅動高壓變壓器，從而產生測量所需的高壓。

3、按鍵與顯示板

按鍵部分用于用戶指令，操縱按鍵使儀器處于不同的工作狀態。

顯示部分用于顯示系統的各種參數。

4、打印機

用于打印輸出所測量的參數，打印結果如下所示：

TESTED BUIC-Ⅲ               TESTED BYUC-Ⅲ

PRESSURE：3.260E-5Pa         CURRENT：2.621E-6A

（真空度值）                 （漏電流值）

TUBE NO： （管編號）         TUBE NO： （管編號）

TUBE TYPE：（管型）           TUBE TYPE：（管型）

DATE：    （日期）           DATE：    （日期）

TEST REPORT                  TEST REPORT

（檢驗記錄）                 （檢驗記錄）

注意事項：

1、該儀器屬精密儀器，電路板布線密度較大，一般要求存放于較干燥的地方。若環境較潮濕，則應經常通電。

2、若測試后真空度值顯示為零，應檢查滅弧室表面是否清潔。因為表面不清潔可能使漏電的變化值大于電離電流值，這樣，測量值減去漏電后小于零，而被儀器判為零。發生這種情況后，將滅弧室表面檫干凈，再做試驗，一般來說這樣得到的真空度值較精確。

3、使用時，高壓輸出線不得觸及人體，以防觸電。

4、高壓指示燈亮時，不要觸及高壓線，以防觸電。

5、拆裝打印紙在儀器先斷電的情況下進行，以免損壞打印機。換紙時，將前面板打開，用食指和拇指捏緊打印機兩端的兩夾片輕輕拖出打印機，使出紙口略高于儀器面板，但不能拖出距離太大，將新紙端口部分剪成尖頭狀，插入打印機的進紙口，打開儀器電源開關，按下打印鍵，使紙從打印機的上端走出一段距離，插入面板出口縫導出。蓋好打印機面板，裝紙完畢。

6、本儀器無任何用戶可維修的部件,如出現故障,請專業人員維修,或與供應商聯系,切勿擅自打開儀器,以免發生意外或造成不必要的損失。

7、本儀器真空度測量范圍在9.999×10-1～1×10-5之間,離子電流測量范圍在9.999×10-1～1×10-7之間，當真空管的真空度大于10-2 Pa或離子電流大于500uA時建議該真空管報廢。

8、若真空管內壓力等于大氣壓(即真空管破損)，本儀器測量范圍內, 本儀器則拒絕檢測，返回初始狀態。

（注：擊穿后，儀器有可能出現顯示不正常，此時，從新開機后儀器回到正常狀態，本儀器切勿超常時間工作。）

 關鍵詞：真空度測試儀設備/真空度測試儀設備