潔凈室多級碰撞采樣器
該多級碰撞采樣器將懸浮顆粒按照粒徑大小分級采集到硅片，鋁膜及其它平面介質上進行掃描電鏡或其它技術分析潔凈室污染。
儀器特點：
6級碰撞采樣
切割直徑：0.05、0.1、0.3、1.0、3.0.10um
采集顆粒于不同介質上進行粒徑、形狀及化學成分分析
噪音低無污染采樣泵
采樣流量：3L/min
MSP
分級采樣器，藥物吸入采樣器，粒徑譜儀等環保監測儀器。
潔凈室多級碰撞采樣器
該多級碰撞采樣器將懸浮顆粒按照粒徑大小分級采集到硅片，鋁膜及其它平面介質上進行掃描電鏡或其它技術分析潔凈室污染。
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