納米定位壓電疊堆促動器 

特征

亞納米定位分辨率

NPA 壓電疊堆促動器的定位分辨率低至 0.05 nm，因此可以進行超精細調節，且分辨率僅受限于控制電子器件的噪聲。

載重能力超高

NPA 壓電疊堆促動器可以產生高達 1000 N 的力，因而特別適用于機床、主動隔振或自適應機制。

適合閉環工作的可選應變計

閉環版本具有高分辨率位置傳感器，可實現高精度且可重復的運動，而且還會對促動器的移動進行補償。裝配基于完整的惠斯通電橋進行，并且對溫度不敏感。閉環設備可用于開環或閉環控制。

真空兼容版本

NPA 壓電疊堆促動器具有真空兼容版本，可在真空 (10-6 Torr) 環境中使用。

納米定位壓電疊堆促動器 配有高度可靠的多層低壓壓電換能器堆疊。它們通過機械彈簧在內部完成預加載，具有高諧振頻率，這使其成為高載重動態應用的理想之選。
亞納米定位分辨率
載重能力超高
可選應變計位置反饋
真空兼容版本

技術參數

• 行程范圍

  0.1 mm  

• 軸向負載

  1000 N  

• 負載，拉

  150 N  

• 軸向剛度

  10 N/µm  

• 電容

  9.0 µF

• 共振頻率

  3000 Hz

• 電纜長度

  1 m

• 開環分辨率

  0.2 nm  

• 亞納米定位分辨率

  NPA 壓電疊堆促動器的定位分辨率低至 0.05 nm，因此可以進行超精細調節，且分辨率僅受限于控制電子器件的噪聲。

  載重能力超高

  NPA 壓電疊堆促動器可以產生高達 1000 N 的力，因而特別適用于機床、主動隔振或自適應機制。

  適合閉環工作的可選應變計

  閉環版本具有高分辨率位置傳感器，可實現高精度且可重復的運動，而且還會對促動器的移動進行補償。裝配基于完整的惠斯通電橋進行，并且對溫度不敏感。閉環設備可用于開環或閉環控制。

  真空兼容版本

  NPA 壓電疊堆促動器具有真空兼容版本，可在真空 (10-6 Torr) 環境中使用。