山東省聊城市科威化工儀器有限公司

一、 用途

BG系列甲醇提氫純化裝置,氫氣在硅外延工藝中既是外延淀積的硅源、參雜源及氯化氫的攜帶氣體，又是淀積中的還原氣體，它的純度對外延晶格結構完整性起決定性作用。硅外延工藝要求氫氣純度必須高于99.9999%以上，否則外延層表面會出現霧狀，桔皮結構，甚至氧化。同時還影響電參數及外延層厚度控制的準確性，外延層工藝質量不穩定，很大程度上就是氫氣純度達不到要求，因此特推出鈀擴散氫氣純化器，使氫氣的純度具有穩定性，流量大，純度高等特點。在世界上來說，只有利用鈀管擴散原理來達到超純氫氣的目的。

二 、甲醇提氫純化裝置主要技術指標

氫氣純度：99.9999%；                zui大純化量： 1.5立方米/小時           

原料氫壓力：0.8MPa                    純化氫壓力：可調

原料氫含氫量：不小于50%            zui高使用溫度：不大于400℃

    工作時間：連續使用

三、工作原理

      氫分子和氫原子是所有化學元素中zui小的分子和原子，如把鈀的單晶結構考慮成為面心立方體，立方體的八個角為八個鈀原子所占有，六個面的中心部分為六個鈀原子所占有，在這個鈀原子的密集堆積中，只有在鈀管表面能發生離解的氫原子才能通過，而其它元素的原子和分子，其直徑都大于鈀原子密集堆積的間隙，故不能通過。鈀擴散法純化氫就是利用這個原理，擴散透過鈀管的氫，其純度。

主要生產：氫氣純化裝置,氫氣凈化裝置,高純氫儀,超高氫純化儀,氫氣發生器,氫氣純化器,高純氫氣發生器,氨分解氫氣裝置