產(chǎn)品特點(diǎn)
• 全表面測量平面度、波度和輪廓度
• 完整的三維分析和報(bào)表
• 對大于視場范圍的表面可以進(jìn)行無縫拼接
• 大三維數(shù)據(jù)點(diǎn)：400萬/視場
• 垂直分辨率: 50 nm
• 橫向分辨率: 80 μm
• 多表面間的相對關(guān)系測量
• 高速、非接觸、容易使用
性能參數(shù)
• 運(yùn)行環(huán)境溫度： 18 ℃~25 ℃
• 濕度： 10% ~ 80% 非冷凝
• 1級激光產(chǎn)品
• 視場范圍：150 mm x 150 mm x 225 mm
• 距傳感器的工作距離： 25 mm ~ 250 mm
• 橫向分辨率： 80 μm
• 垂直分辨率：0.05 μm
• 垂直精度基數(shù)： 1 μm
• 測量速度：約1分鐘 / 視場
• 大測量點(diǎn)數(shù)：400萬 / 視場
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