型號參數 
所有的角度都是指光學角度

 intlliSCAN ®/ intlliSCANde ®

入光孔徑

10

14

20

25

30

“Fast Vector” 式調整

速度

標刻速度

3.0 m/s

1.5 m/s

1.0 m/s

0.8 m/s

0.7 m/s

定位速度

14.0 m/s

12.0 m/s

11.0 m/s

10.0 m/s

9.0 m/s

寫入速度

好品質寫入速度

1150 cps

500 cps

340 cps

260 cps

220 cps

高品質寫入速度

800 cps

340 cps

230 cps

170 cps

150 cps

動態特性

跟蹤誤差

0.12 ms

0.21 ms

0.32 ms

0.50 ms

0.55 ms

 “step”式調整

階躍時間

1% of full scale

0.37 ms

0.7 ms

0.75 ms

1.0 ms

1.2 ms

10% of full scale

1.0 ms

1.4 ms

1.9 ms

2.7 ms

3.5 ms

100% of full scale

3.0 ms

3.7 ms

5.3 ms

8.0 ms

11.0 ms

通用參數

光學特性

掃描角度

±0.35 rad (1)

增益誤差

< 5 mrad

零點誤差

< 5 mrad

電氣要求

30 V DC, max. 6 A (8)

or 48 V DC, max. 6 A

接口定義

XY2-100增強型、SL2-100 或者光學數據傳輸

運行溫度

25 °C ± 10 °C

風冷要求

干凈、過濾氣體

20 l/min at Δp < 2 bar

水冷要求

5 l/min at

Δp < 0.1 bar, p < 4 bar

型號參數 所有的角度都是指光學角度

intlliSCAN de®
digital encoder

 intlliSCAN ®
analog detector

動態特性

重復精度

< 0.4 μrad

< 2 μrad

抖動 （位置噪音、大振幅）

< 1.6 μrad

< 5 μrad

溫度漂移

漂移

< 15 μrad/K

增益

< 8 ppm/K

長時間漂移（8小時）

< 0.6 mrad

漂移

< 20 μrad

-

增益

< 20 ppm

-

長時間漂移（24小時）

< 0.6 mrad

漂移

< 12 μrad

-

增益

< 25 ppm

-

光學特性

線性度

< 0.5 mrad / 44°

< 3.5 mrad / 44°

位置分辨率

0.82 μrad

3.2 μrad

intlliSCAN ® III 10

intlliSCAN ® III 14

入光孔徑

10mm

14mm

跟蹤誤差

0.11 ms

0.13 ms

階躍時間

1% of full scale

0.40 ms

0.40 ms

10% of full scale

1.1 ms

2.2ms

速度

標刻速度

3.5 m/s

2.5 m/s

定位速度

12 m/s

6.0 m/s

寫入速度

好品質寫入速度

1080 cps

800 cps

高品質寫入速度

760 cps

550 cps

長時間漂移（8小時）

漂移

< 100 μrad

< 100 μrad

增益

< 100 ppm

< 100 ppm

長時間漂移（24小時）

漂移

< 100 μrad

< 100 μrad

增益

< 100 ppm

< 100 ppm

溫度漂移

漂移

< 15 μrad/K

< 15 μrad/K

增益

< 25 ppm/K

< 25 ppm/K