小型大行程納米促動器 

應(yīng)用領(lǐng)域

• 工業(yè)級精度定位
• 半導(dǎo)體技術(shù)
• 半導(dǎo)體測試
• 晶圓檢測
• 平版印刷術(shù)
• 納米壓印
• 納米測量
• 強(qiáng)磁場和真空中運(yùn)動

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器以的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

 小型大行程納米促動器

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個壓電陶瓷促動器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動，將動輪向前推進(jìn)。促動器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分辨率進(jìn)行小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的，并且適合在強(qiáng)磁場中運(yùn)行。驅(qū)動器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動器還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無塵室或環(huán)境中。

德國Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米與納米定位技術(shù)的研發(fā)與制造。PI代表著技術(shù)性能，定位精度可達(dá)納米。PI可獲得的組件獨(dú)立于市場上，并提供超越現(xiàn)有技術(shù)水平的單獨(dú)解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競爭優(yōu)勢。 Physik Instrumente提供了超越競爭的技術(shù)范圍和垂直生產(chǎn)范圍。然而，PI重要的關(guān)注是通過定位解決方案不斷地激勵客戶。今天，無論是在計量、顯微，生命科技，還是激光技術(shù)，精密加工技術(shù)；無論是半導(dǎo)體科技，數(shù)據(jù)存儲技術(shù)，還是光電子/光纖，天文等領(lǐng)域，PI的產(chǎn)品和技術(shù)正得到越來越廣泛的應(yīng)用，也贏得了越來越廣泛的贊譽(yù)。 Physik Instrumente (PI)主要產(chǎn)品： 線性平臺和執(zhí)行器 電動旋轉(zhuǎn)平臺和測角器 XY平臺 六足/平行運(yùn)動 XYZ掃描儀 Z-/傾斜平臺，提示/傾斜鏡和有源光學(xué) 陶瓷部件 壓電陶瓷組件 壓電陶瓷執(zhí)行器 控制器和驅(qū)動器 空氣軸承導(dǎo)向系統(tǒng) 主要型號： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91