電動位移臺選購指南 Feinixs系列產品命名規則 位移控制基本概念
FMSZ-S系列-伺服電機升降臺
詳細規格參數
![]() | (1) 光柵尺閉環,大承載,高精度 |
詳細規格參數
| 圖片 | | ||
| 產品分類 | 伺服升降臺 | 伺服升降臺 | 伺服升降臺 |
| 產品型號 | FMSZ170S-100 | FMSZ170S-200 | FMSZ170S-300 |
| 外形尺寸 | 529x170x85.5 | 629x170x85.5 | 729x170x85.5 |
| 臺面尺寸(mm) | 170x170 | 170x170 | 170x170 |
| 電機 | 伺服電機 | 伺服電機 | 伺服電機 |
| 行程(mm) | 100 | 200 | 300 |
| 速度(mm/s) | 100 | 100 | 100 |
| 負載(Kg) | 20 | 20 | 20 |
| 分辨率(um) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 最小位移量(um) | 1 | 1 | 1 |
| 單向重復定位精度(um) | ±1 | ±1.5 | ±2 |
| 雙向重復定位精度(um) | ±2 | ±3 | ±4 |
| 定位精度(um) | ±10 | ±12 | ±15 |
| 直線度(um) | 15 | 15 | 15 |
| 平行度(um) | 15 | 15 | 15 |
| 偏擺(") | 30 | 30 | 30 |
| 俯仰(“) | 30 | 30 | 30 |














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