電動位移臺選購指南 Feinixs系列產(chǎn)品命名規(guī)則 位移控制基本概念
FMSZ-P系列-壓電電機升降臺
詳細規(guī)格參數(shù)
 | 超高精度垂直升降臺 |
詳細規(guī)格參數(shù)
| 圖片 |  |  |
| 產(chǎn)品分類 | 壓電電機升降臺 | 壓電電機升降臺 |
| 產(chǎn)品型號 | FMSZ115P-50 | FMSZ85P-20 |
| 外形尺寸 | 115x115x110 | 85x85x85 |
| 臺面尺寸（mm) | 115x115 | 85x85 |
| 持續(xù)推力（N) | 40 | 20 |
| 峰值推力（N） | 40 | 20 |
| 行程（mm) | 50 | 20 |
| 速度（mm/s) | 5 | 5 |
| 負載(Kg） | 2 | 1 |
| 分辨率（um) | 0.1 | 0.1 |
| 最小位移量(um) | 0.2 | 0.2 |
| 單向重復定位精度(um) | ±0.5 | ±0.5 |
| 雙向重復定位精度(um) | ±1 | ±1 |
| 定位精度(um) | ±2 | ±2 |
| 直線度(um) | 5 | 5 |
| 平行度(um) | 5 | 5 |
| 偏擺(") | 10 | 10 |
| 俯仰（“） | 10 | 10 |
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