3D三坐標測量機名稱：Excel 652HC
分類：Micro-Vu 非接觸三坐標測量儀
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| 基本規格 | Excel 652HC |
| 量測行程 | X650xY650xZ250mm |
| X，Y軸精度 | U=3.0+L/300mm (L=量測距離) |
| Z軸精度 | U=3.0+L/300mm (L=量測距離) |
| 光學尺分辨率 | 0.1μm |
| 移動速度 | 500mm/s |
| X，Y軸加速度 | 1000mm/s² |
| Z軸加速度 | 500mm/s² |
| 床臺材質 | 花崗石 |
| 光學鏡頭/倍率范圍 | 12:1 Programmable Zoom/～14x-400x |
| 承載重量 | 100公斤 |
| 外觀尺寸 | 長1311寬1604高1788毫米 |
| 機臺重量 | 1350公斤 |
| 環境要求 | 溫度20±2°C，濕度30-80% |
| 電源需求 | 93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp max. |
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