CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統 ，溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。 

這款CVD系統是由4路供氣系統KTL1600管式爐+真空系統組成。

（1）、硅鉬棒的熱端粗度D1為7mm、一般廠家采用的6MM、加熱端粗、不容易彎曲、棒子的表面負荷低，使用壽命長。

（2）、采用的是熱彎技術，電阻均勻，使用壽命長

（3）、Lu冷端長度為210mm， 400X300X300爐子為260 ，一般廠家采用180mm, 冷端長爐頂溫度低。

（4）、硅鉬棒表面氧化非晶膜致密，能夠比較好的保護硅鉬棒。 
 

當電路過流或漏電時，空開會自動斷開

 該氣氛管式爐可配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出

（1）、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
（2）、采用成型。
（3）、爐膛材料熱容低、熱傳導系數低，從而散熱少、保溫好、反射率高。溫場均衡。
（4）、爐膛氧化鋁絲細而長、耐溫高、抗熱漲冷縮能力強
（5）、爐膛表面光潔、不易掉粉。

（全部通過UL認證的進口電器）

采用宇電程序控溫儀表（標配）

1、30段程序控溫智能PID調節。

2、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）

4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能