超精密直線伺服電機

行程: 6～990mm 

可以任意長度的滑軌部分 

應用中加速度達：400m/s2 

額定出力：6000N 340mm

定位精度：小于10nm 

下面僅是與世界的德國空氣軸承生產商 Aerolas 公司合作為幾個電子行業企業生產的設備。

超精密二維測量平臺 

應用范圍 : 半導體技術 
應用 : 測量孔的通否 / 過光 
行程 : 340 mm x 330 mm 
定位精度 : < 10 nm （全程范圍內） 
驅動方式 : 磨擦輪驅動 
加速度 : 0, 25 m /s2 

高動態直線電機 

采用 AeroLas 的空氣軸承可以使直線電機有高的精度和高動態特性
實際加速度達到 400 m /s2( 理論上可達 1.000.000 m/s3) 
行程 ：100 mm 
負載 ：2 kg
應用于齒輪測量，幾年來已連續運行 60 億次以上 

高加速度雙軌式直線電機 

截面 ：500 mm x 250 mm 
加速度達 : 300 m /s2 且精密定位
采用空氣軸承,受溫度變化影響小,電纜不動
行程 ： 150 mm 
負載 ： 10 kg ，
加速度 : > 300 m /s2 
速度 : 4,7 m /s

采用空氣軸承的精密測量單元 

應用于汽車行業 
行程 : 8 mm 
頻率 : 50 Hz

應用領域 : 機床主驅動軸 

行程 : > 700 mm 
運動負載 : 50 kg 
電機 : 直線電機 
加速度 : 50 m /s2 
速度 : 4,5 m /s 
定位精度 : < 0,2 μm ( 無爬行和顫抖 )

圓筒式精密直線伺服電機
行程：27.5～137.5mm

加速度達：239m/s2

速度：5.74m/s

出力：1520N

定位精度：小于0.2μm 

方筒式精密直線伺服電機

行程: 6～32mm 

優異的加減速度特性 

適應高速精密往返運動

出力: 50N

定位精度: 小于0.2μm