這款納米升降臺(tái)是美國(guó)nutec的短行程的Elevator Stage,納米升降定位臺(tái),特別適合豎直的Z軸升降定位應(yīng)用,它具有的垂直升降定位功能,超高分辨率,超高重復(fù)精度和機(jī)械穩(wěn)定性。
納米升降臺(tái)產(chǎn)品特色:
這款納米升降臺(tái)采用高密度交叉滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)用于豎直導(dǎo)向,確保的穩(wěn)定性。單立柱式的X滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)提供了適度的高剛性,使得這款納米定位臺(tái)具有極小的滯后和相當(dāng)大的承載能力。
納米升降臺(tái)應(yīng)用:
這款納米定位臺(tái)比較適合對(duì)Z軸垂直升降精度較高要求的應(yīng)用。比如,光學(xué)成像系統(tǒng)中焦平面的準(zhǔn)直,半導(dǎo)體測(cè)試,視頻測(cè)量等。
納米升降臺(tái)參數(shù)
行程:4mm
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng):無(wú)刷伺服-絲桿驅(qū)動(dòng)
速度:20mm/s
負(fù)載;10kg
TTL分辨率:100nm, 50nm, 25nm, 12.5nm, 10nm, 1nm
重復(fù)精度:5x分辨率
納米升降臺(tái),納米升降平臺(tái)由中國(guó)的進(jìn)口光學(xué)精密儀器旗艦型服務(wù)商-孚光精儀進(jìn)口銷(xiāo)售,精通光學(xué),服務(wù)科學(xué),先后為北京大學(xué),中科院上海光機(jī)所,中國(guó)工程物理研究院,航天3院,哈工大,南開(kāi),山東大學(xué)等單位提供進(jìn)口的納米升降臺(tái),納米升降平臺(tái),精密升降臺(tái)。











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