概述
等距螺桿式真空泵又稱為干式螺桿真空泵，是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的等距左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動。兩螺桿經精細動平衡，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿，螺桿與泵體之間都有一定的間隙，泵工作時相互之間無摩擦，運轉平穩、噪音低，且工作腔無需潤滑油.可以代替油封式機械泵、水封式機械泵成為新一代的主要真空獲得設備。主要特點：
● 結構緊湊，占地面積小。
●能抽除大量水蒸氣和少量粉塵的氣體。增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射等氣體。
● 由于真空腔內沒有油潤滑，因此粉塵不會存留在泵腔內，而是隨氣體從排氣口排出泵外。并且解決油乳化及頻繁更換工作液、頻繁維護和保養等問題，節約使用成本。
●泵腔內沒有任何的內部閥門，排除了因內部閥門而產生故障的可能性，因此對粉塵和焦油能力強。
●無廢水，廢油的的排放，對環境無污染。
● 極限真空較高，可代替大部分羅茨水環以及羅茨往復式真空機組。
● 泵腔及螺桿表面可進行鍍鎳以及滲哈氏合金涂層處理，可抽除大量水蒸氣及多種腐蝕型介質。
型號/性能/參數（Type-Performance-parameter）
| 型號 | 抽氣速率 | 極限壓力 | 功率 | 轉速（rpm） | 進氣口徑 | 排氣口徑 | 冷卻水量 | 噪聲 |
| HZG-150 | 150 |
≤5 | 4 | 2900 | 40 | 40 | 2 | ≤78 |
| HZG-300 | 300 | 7.5 | 2900 | 50 | 40 | 4 | ≤78 | |
| HZG-450 | 450 | 11 | 2900 | 65 | 50 | 8 | ≤80 | |
| HZG-600 | 600 | 15 | 2900 | 80 | 65 | 10 | ≤80 | |
| HZG-900 | 900 | 22 | 2900 | 100 | 80 | 14 | ≤80 |
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