廈門市盈鑫豐進出口有限公司供應日本EBARA荏原干式真空泵 渦輪泵

EBARA干式真空泵

EBARA是“干式"真空泵設計和制造的 EB原干式真空泵具有許多產品 ，包括：

提高可靠性

減少潔凈室顆粒負荷

低噪聲

低振動

降低運營

與當今市場上的其他干式真空泵相比，擁有

多樣化的產品線使原市成為真空減排技術和服務的行業 原的干式真空泵在LPCVD，PECVD，CVD和金屬蝕刻等 苛刻的應用環境下仍然可以承受。 EBARA的干式泵也非常適合半導體行業中的許多應用，以及任何不允許回油的應用。

--EV-A型干式真空泵

EV-A型風冷干式真空泵具有 的規格。 非接觸式，多級根部設計用于可靠，無顆粒的真空產生。 EV-A干泵的典型應用包括要求真空性能和運行時間的負載鎖，分析儀器和計量設備。

EV-A干式真空泵是理想的替代品

更換濕泵：無需再頻繁更換機油或進行昂貴的維修

更換渦旋泵：消除了頂部密封和軸承更換的麻煩，基本壓力漂移

特點和優點小型空冷泵無接觸設計在大氣中泵送速度高水蒸汽泵送任何空冷干泵的UL, CE，和NRTL額定的單和三相版本可用應用負載鎖分析儀器(LCMS, ICPMS)電子顯微鏡PVD系統氧等離子系統

--風冷-EV-PA型

EV-PA型超緊湊型風冷干泵系列。無油， 且無年度維護要求，該泵是更換嘈雜和高維護渦旋和濕式油泵的理想解決方案。該泵具有較低的擁有 和較高的投資回報率（ROI）。重量僅為9千克，重量輕，非常適合小型臺式機或移動系統。設計用于所有輕型應用：負載鎖，電子顯微鏡，質譜和其他分析儀器。