系列名稱 ULTRA QV 404

型號(hào) QV-U404P1N-D QV-U404T1N-D

貨號(hào) 363-518-10Y 363-519-10Y

光學(xué)系統(tǒng) PRO

跟蹤自動(dòng)對(duì)焦裝置 ?

測(cè)量范圍 400×400×200mm

分辨力／長(zhǎng)度基準(zhǔn) 0.01µm／線性編碼器

倍率裝置*1 可編程電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái) 1×-2×-6×

影像裝置 黑白CCD

照明裝置 反射照明 鹵素?zé)?

透射照明 鹵素?zé)?

程控環(huán)形照明 鹵素?zé)?

測(cè)量精度*2 E1 XY軸 (0.25+L/1000)µm

E1 Z軸*3(50mm行程) (1.0+2L/1000)µm

E1 Z軸(全部行程) (1.5+2L/1000)µm

E2 XY平面 (0.5+2L/1000)µm

精度保證光學(xué)條件 5倍物鏡 + 中倍管透鏡

畫面內(nèi)重復(fù)精度 3σ=0.2µm

自動(dòng)聚焦重復(fù)精度 σ=0.4µm

精度保證溫度 環(huán)境溫度 19～23oC

溫度變化 0.5oC/1H 和 1oC/24H

LAF重復(fù)精度*4 ? σ≦0.8µm

工作臺(tái)玻璃尺寸 493×551mm

工件質(zhì)量*5 40kg

主機(jī)外觀尺寸 1172×1735×1910mm

主機(jī)重量 (含設(shè)置臺(tái)) 2150kg

空氣壓力 0.4MPa*6

空氣流量 300L/min(ANR)*7

溫度補(bǔ)償功能 自動(dòng)溫度補(bǔ)償