系列名稱 QV Apex 302 QV Apex 404 QV Apex 606

型號(hào) QV-X302P1L-D QV-X302T1L-D QV-X302P3L-D QV-X302T3L-D QV-X404P1L-D QV-X404T1L-D QV-X404P3L-D QV-X404T3L-D QV-X606P1L-D QV-X606T1L-D QV-X606P3L-D QV-X606T3L-D

貨號(hào) 363-170-10Y 363-174-10Y 363-171-10Y 363-175-10Y 363-180-10Y 363-184-10Y 363-181-10Y 363-185-10Y 363-190-10Y 363-194-10Y 363-191-10Y 363-195-10Y

光學(xué)系統(tǒng) PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3

跟蹤自動(dòng)對(duì)焦裝置測(cè)量范圍 300×200×200mm 400×400×250mm 600×650×250mm

分辨力／長(zhǎng)度基準(zhǔn) 0.1µm／線性編碼器

倍率裝置*1 可編程電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái) 1×-2×-6×

影像裝置 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色

照明裝置*2 反射照明 白色LED

透射照明 白色LED

程控環(huán)形照明 白色LED

測(cè)量精度*3 E1 XY軸 (1.5+3L/1000)µm

E1 Z軸 (1.5+4L/1000)µm

E2 XY平面 (2.0+4L/1000)µm

精度保證光學(xué)條件 2.5倍物鏡(QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X) + 中倍管透鏡

精度保證溫度 環(huán)境溫度 20±1oC

溫度變化 2oC/8H

LAF重復(fù)精度*4 — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm

工作臺(tái)玻璃尺寸 399×271mm 493×551mm 697×758mm

工件質(zhì)量*5 20kg 40kg 50kg

主機(jī)外形尺寸 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm

主機(jī)重量 (含設(shè)置臺(tái)) 360kg 579kg 1450kg