系列名稱 QV Apex 302 QV Apex 404 QV Apex 606
型號(hào) QV-X302P1L-D QV-X302T1L-D QV-X302P3L-D QV-X302T3L-D QV-X404P1L-D QV-X404T1L-D QV-X404P3L-D QV-X404T3L-D QV-X606P1L-D QV-X606T1L-D QV-X606P3L-D QV-X606T3L-D
貨號(hào) 363-170-10Y 363-174-10Y 363-171-10Y 363-175-10Y 363-180-10Y 363-184-10Y 363-181-10Y 363-185-10Y 363-190-10Y 363-194-10Y 363-191-10Y 363-195-10Y
光學(xué)系統(tǒng) PRO PRO3 PRO PRO3 PRO PRO3
跟蹤自動(dòng)對(duì)焦裝置測(cè)量范圍 300×200×200mm 400×400×250mm 600×650×250mm
分辨力/長(zhǎng)度基準(zhǔn) 0.1µm/線性編碼器
倍率裝置*1 可編程電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái) 1×-2×-6×
影像裝置 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色 黑白CCD 3CCD彩色
照明裝置*2 反射照明 白色LED
透射照明 白色LED
程控環(huán)形照明 白色LED
測(cè)量精度*3 E1 XY軸 (1.5+3L/1000)µm
E1 Z軸 (1.5+4L/1000)µm
E2 XY平面 (2.0+4L/1000)µm
精度保證光學(xué)條件 2.5倍物鏡(QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X) + 中倍管透鏡
精度保證溫度 環(huán)境溫度 20±1oC
溫度變化 2oC/8H
LAF重復(fù)精度*4 — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm — σ≦0.8µm
工作臺(tái)玻璃尺寸 399×271mm 493×551mm 697×758mm
工件質(zhì)量*5 20kg 40kg 50kg
主機(jī)外形尺寸 859×951×1609mm 1027×1407×1778mm 1309×1985×1794mm
主機(jī)重量 (含設(shè)置臺(tái)) 360kg 579kg 1450kg






















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