多種組維方式,系統線性靈敏度優于0.5μm,角度靈敏度優于23.4″,高穩定性,高性價比。
| X | Y | Z | |
| RU3EL | RUB10-60LN | RUB30-60LK | RUB10-60RN |
| RU3ER | RUB10-60RN | RUB30-60RK | RUB10-60LN |
| 行程 | 粗動:±6.5mm 微動;±0.3mm | ||
| 分辨率 | 粗動:10μM 微動:0.5μM | ||
| 光軸高 | 109mm | ||







所有評論僅代表網友意見,與本站立場無關。