RUQFL100系列是目前國內(nèi)性能的氣浮直線臺(tái)，可作為單軸使用或根據(jù)應(yīng)用與其它軸組裝成系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于精密加工，測(cè)試測(cè)量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。
非接觸式結(jié)構(gòu)
采用非接觸式氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)和光柵尺反饋裝置組成整個(gè)系統(tǒng)，確保免維護(hù)運(yùn)行。因?yàn)檫\(yùn)動(dòng)元件間沒有機(jī)械接觸，隨著時(shí)間的推移，不會(huì)出現(xiàn)磨損或性能下降，使用壽命幾乎是無限的，氣浮導(dǎo)軌不需要潤滑，只需要清潔及干燥的氣體，是用戶應(yīng)用的理想選擇。
高精度指標(biāo)
氣浮導(dǎo)軌基于氣體動(dòng)靜壓效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)無摩擦和無振動(dòng)的平滑移動(dòng)，與摩擦式導(dǎo)軌相比，氣浮直線臺(tái)的直線度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指標(biāo)得到了很大的提高，同時(shí)由于非接觸式，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)的飛躍，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。
定制化
可定制大理石或碳化硅材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌，提升精度性能。行程可接受定制。
| 產(chǎn)品型號(hào) | 單位 | RUQFL100-25 | RUQFL100-75 | RUQFL100-100 | RUQFL100-125 | RUQFL100-150 | |
| 行程 | mm | 25 | 75 | 100 | 125 | 150 | |
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.1 | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||
| 雙重復(fù)定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.025 | ±0.05 | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.05 | ±0.075 | |||||
| 直線度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.5 | ||||
| 平面度 | ｕm | ±0.15 | ±0.5 | ||||
| Ritch/roll/yaw | Plus值 | ARC SEC | ±0.25 | ±0.5 | ±1 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ||||
| 電子分辨率 | Nm | 0.3或5（選配） | |||||
| 速度 | m/s | 100 | |||||
| 加速度 | m/s | 1，（5定制） | |||||
| 負(fù)載 | Kg | 15 | |||||
| 供氣壓力 | Mpa | ±0.5±0.05 | |||||
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