質(zhì)量流量計(jì)智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計(jì)，觸摸屏控制調(diào)節(jié)不同時(shí)間不同流量氣體，操控簡單，
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
• 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能，對前段氣體壓力的擾動進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對瞬時(shí)流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
質(zhì)量流量計(jì)智能氣體配比器KT-C4ZS資料 ;
產(chǎn)品型號 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
氣體通道 | 4進(jìn)1出 | 4進(jìn)1出 | |||
可根據(jù)需求定制 | |||||
產(chǎn)品類型 | 高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制 | ||||
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | ||||
產(chǎn)品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S | |||
重復(fù)精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
響應(yīng)時(shí)間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
功耗 | 40W | ||||
進(jìn)氣口壓 | ≤0.6MPa | ||||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||||
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | ||||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) | ||||
時(shí)間設(shè)定 | 0-32000分鐘 | ||||
清洗功能 | 一鍵清洗 | ||||
程序控制 | 5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值) | ||||
壓力顯示 | 有（出氣壓力檢測且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路） | ||||
氣體混合罐 | 有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻） | ||||
氣體加熱 | 無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)） | ||||
流量累計(jì) | 有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量） | ||||
可選進(jìn)出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||||
抗電磁干擾 | 有 | ||||
外形尺寸 | 550x380x400mm | ||||
重量 | 18KG～20KG | ||||
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