高精度流量計氣體配比器
CS系列產(chǎn)品采用了先的技術(shù),申報并獲得66項國家z利,其中PCT2項,發(fā)明z利24項。CS 系列產(chǎn)品的各項技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn),相對于模擬產(chǎn)品具有精度高,響應(yīng)快,使用便捷，可實現(xiàn)功能多、易于通訊、擴展性和可兼容性強等優(yōu)點。CS系列產(chǎn)品已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、燃料電池、真空、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、航空電力等行業(yè)。
高精度流量計氣體配比器資料 ;
產(chǎn)品型號 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
氣體通道 | 4進1出 | 4進1出 | |||
可根據(jù)需求定制 | |||||
產(chǎn)品類型 | 高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制 | ||||
可選量程 | 20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選) | ||||
產(chǎn)品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S | |||
重復(fù)精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
線性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||
響應(yīng)時間 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec | |||
工作溫度范圍 | (5~45)°C | ||||
供電電源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||||
功耗 | 40W | ||||
進氣口壓 | ≤0.6MPa | ||||
連接管道 | 316不銹鋼管道 | ||||
截止閥類型 | 電磁閥 | ||||
單向閥開啟壓力 | 0.02Mpa | ||||
壓力顯示量程 | 0-0.6Mpa | ||||
控制方式 | 7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié) | ||||
時間設(shè)定 | 0-32000分鐘 | ||||
清洗功能 | 一鍵清洗 | ||||
程序控制 | 5段可編程序(時間-流量隨意設(shè)定值) | ||||
壓力顯示 | 有（出氣壓力檢測且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路） | ||||
氣體混合罐 | 有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻） | ||||
氣體加熱 | 無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)） | ||||
流量累計 | 有（累計當(dāng)前運行總流量） | ||||
可選進出氣口接頭形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭 | ||||
抗電磁干擾 | 有 | ||||
外形尺寸 | 550x380x400mm | ||||
重量 | 18KG～20KG | ||||
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