不銹鋼氣室+4移動(dòng)探針參數(shù)：

內(nèi)部有效尺寸 200*150*100 （mm）擴(kuò)展4探針熱臺(tái)直徑30mm

室溫到300度 配4芯氣密封接頭2個(gè)，用于陣列信號(hào)輸出 （具體使用進(jìn)氣口和出氣口可根據(jù)客戶(hù)需求匹配）

內(nèi)部流量計(jì)使用的是北京七星華創(chuàng)CS200質(zhì)量流量控制器，氣體和量程可根據(jù)客戶(hù)需求標(biāo)定出廠(chǎng)。包含混氣罐 出氣壓力表 出氣截止閥 電腦通訊模塊 不銹鋼機(jī)殼

CS200質(zhì)量流量控制器流量計(jì)：

CS200氣體質(zhì)量流量控制器，采用傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以?xún)?nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時(shí)，產(chǎn)品采用高速控制算法使整個(gè)流量計(jì)的響應(yīng)時(shí)間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi)，CS200C產(chǎn)品可在800ms以?xún)?nèi)達(dá)到設(shè)定流量，響應(yīng)時(shí)間將使用過(guò)程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化，所需流量更加精準(zhǔn)

優(yōu)勢(shì)：

• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線(xiàn)性。

• CS200C產(chǎn)品采用專(zhuān)門(mén)的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下，CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達(dá)25RA。

• CS200產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造，尺寸符合國(guó)際通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字，模擬輸入輸出。

• 產(chǎn)品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

• 具有多氣體多量程功能、自動(dòng)歸零功能、報(bào)警功能、軟啟動(dòng)功能、延遲功能及功能*的免費(fèi)客戶(hù)端使用軟件。