等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低溫等離子體激發

本工藝有40支至240支充有氣體的無極管組成的低溫等離子體激發區，低溫等離子體區是工藝的核心技術，諸多機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發體，在無極管區實現低溫等離子體區，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發是一種能。在實踐應用中，科題在于低氣壓究竟是多少帕？管內充什么樣的氣體   有經濟價值？這沒有理論模型可言，只有通過實踐、實驗、分析。

電催化氧化工藝集低溫等離子體、微波放電、極板放電與一體，在實際使用中實現廢氣的處理是極為復雜的過程，整個過程在不到1秒的時間內完成。從理論到模型都能探究到相關的機理，通過三種方式的集中放電，廢氣分子從低能的E,在千分之一秒的時間內躍遷到足以使其電離的Em級，廢氣分子鍵充分斷裂，在雪崩式的撞擊中斷裂后的粒子由于質量   小，被進一步躍遷，與反應堆內的氧離子氫氧根離子發生反應，生成無味的CO2、H2O以及其它高價化合物。同時由于反應堆內臭氧以及紫外線的作用，   去除不同范疇的廢氣化合物，實地較為廣譜的去除空間。