1半導體/FPD檢查金相顯微鏡GX-21PC 特點和應用方向
特點:
大行程移動采用8寸平臺設計,平臺面積:525mmX330mm,移動范圍:210mmX210mm,可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測
明場/暗場/偏振光/透反射光/微分干涉
2半導體/FPD檢查金相顯微鏡GX-21PC 產品參數
技術規格
光學系統 | 無限遠色差校正光學系統 |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC/透反射光 |
觀察筒 | 30°鉸鏈式三目觀察筒,360°旋轉,瞳距調節范圍54-75mm,單邊視度調節:±5屈光度 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm |
物鏡 | 無限遠長工作距金相明暗物鏡5X/0.15 WD=10.80mm |
無限遠長工作距金相明暗物鏡10X/0.30 WD=12.20mm | |
無限遠長工作距金相明暗物鏡20X/0.45 WD=4.00mm | |
無限遠長工作距金相明暗物鏡50X/0.55 WD=7.90mm | |
無限遠長工作距金相明暗物鏡100X/0.80 WD=2.10mm(選配) | |
物鏡轉換器 | 5孔內定位轉換器,帶DIC插槽 |
總放大倍數 | 50X-1000X |
載物臺 | 8英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y放心同軸調節;平臺面積:525mmX330mm,移動范圍:210mmX210mm;透反射用玻璃載物臺 |
粗微調機構 | 粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置 |
反射照明系統 | 帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿。12V100W鹵素燈,光強連續可調,帶光亮設定按鈕與復位按鈕 |
透射照明系統 | 單顆大功率5W LED,白色,光強連續可調,帶光亮設定按鈕與復位按鈕 |
偏光裝置 | 進口反射偏振鏡組,含起偏鏡組,360度旋轉式檢偏鏡插板 |
濾光片 | 干涉濾光片,藍色(反射用):≤480nm |
干涉濾光片,綠色(反射用):520-570nm | |
干涉濾光片,紅色(反射用):630-750nm | |
干涉濾光片,色平衡片(白光)(反射用) |
成像參數
分辨率 | 2560 x 1920 |
傳感器尺寸 | 2/3 |
像素尺寸 | 3.40μm x 3.40μm |
傳感器有效影像區域 | 9.74mm(H) x 7.96mm |
光譜響應 | 380-650nm |
像素疊加 | 1 x 1, 2 x 2 |
曝光能力 | 0.203ms~104.899ms |
白平衡 | 手動白平衡/一次白平衡/區域白平衡 |
圖片格式 | 日常圖片格式 |
語言 | 各種語言可任意切換 |
操作系統 | 兼容win7/10 32/64bit |
數據傳輸模式 | USB3.0 |
功能 | 可對圖像進行測量、增加比例尺,增加文字 |
3半導體/FPD檢查金相顯微鏡GX-21PC 成套件
產品裝箱單
序號 | 規格 | 單位 | 數量 | 備注 |
1 | 顯微鏡主機 | 臺 | 1 |
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2 | 三目觀察鏡筒 | 只 | 1 |
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3 | 二維移動工作臺 | 件 | 1 |
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4 | 目鏡WF10X | 只 | 2 |
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5 | 物鏡:5X.10X.20X.50X | 只 | 各1 |
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6 | 照明器 | 只 | 1 |
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7 | 攝像適配鏡 | 只 | 1 |
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8 | 數字式攝像頭500W | 套 | 1 | USB3.0 |
9 | 鹵素燈室 | 只 | 1 |
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10 | 內六角調節扳手 | 只 | 1 |
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11 | 電源線 | 根 | 1 |
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12 | 產品裝箱單 | 份 | 1 |
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13 | 隨機文件 | 份 | 1 |
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選配件
專業金相評級分析軟件、測量軟件
物鏡100X、帶尺目鏡10X/0.1mm
測微尺0.01mm
電腦、打印機




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