概 述

氣體質量流量計是采用微機電系統(MEMS)流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經多年結合，開發出的智能化全電子式氣體質量流量儀表技術性能處于水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等優點；針對使用環境, 融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝、維護方面也具有其獨特的性，可應用于空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、惰性氣體，以及符合國家標準的天然氣、液化石油氣等氣體計量。

產 品 特 點

-自動進行溫度和壓力補償

- MEMS集成傳感器增加了量程范圍

- 專有的低功耗技術確保了更長的電池壽命

- 體積小、重量輕降低了安裝及運輸成本

- 數據儲存量大，可輕松下載和分析歷史數據　 　 　

- 可進行數據通訊和網絡操作

產 品 結 構

工 作 原 理

本微機電系統（MEMS）芯片傳感技術，是在硅芯片上集成了機械和電子的傳感和控制功能。它并不是簡單地將機械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現代材料制作技術與大規模集成電路技術相結合獲得新的機電特性。微機電系統芯片可獲得某些宏觀機電器件所不能達到的功效。一個典型的微機電系統芯片包含有微傳感器、微調節器及智能電子控制線路。其傳感器能感應環境的熱、機械、磁、光、化學或生物特性，通過微調節器及智能電子控制線路來完成器件所賦予的功能。本流量計采用了本公司生產的熱質量氣體流量傳感芯片，屬于質量流量傳感方式的流量計，它通過氣體流動產生的熱場變化來測量氣體的流量。由于不同質量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，因而，它所測量的流量為質量流量。

主要技術參數

其它技術參數