集成電路用超純水處理設備是利用高壓力使水中的帶電的離子進行移動,并且與離子交換樹脂技術相結合在一起,加速得到超純水的一種設備。同時水分子可以產生氫離子和氫氧根離子,這些離子可以對樹脂進行再生,以使離子交換的樹脂保持良好狀態,能夠保持著一直穩定的運行。
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集成電路用超純水處理設備
集成電路用超純水處理設備的工藝流程
1、采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
集成電路用超純水處理設備預處理工藝描述
預處理:預處理工藝的主要目的是去除原水中的全部或部分懸浮物、微生物、膠體、溶解性氣體及部分有機雜質和無機雜質,為下級脫鹽工藝做準備。預處理的方法很多,視原水水質情況而定,如氯化、凝聚與澄清、多介質過濾和深層過濾。
1、氯化為了減少原水中的微生物,通常加氯作為殺生劑。
2、凝聚與澄清為了把懸浮物及其他雜質變成大顆粒沉積物,并盡快沉降下來,可以在原水容器中加入適量的凝聚劑,可取得良好效果。凝聚的處理對象是細顆粒懸浮和膠體。
3、多介質過濾采用不同粒徑的石英砂,自下而上從大到小順序放置。對含鐵錳較高的原水,采用錳砂作濾料,當原水通過濾料時,大部分懸浮物被濾料吸附,同時由于在濾料表面形成的薄膜增加了流阻,從而強化了過濾精度。
4、深層過濾采用繞線式蜂房濾芯及燒結濾芯進行深層過濾,能截流大于1μm的顆粒,有效地去除膠狀物和懸浮物,并有除鐵功效。
5、吸附吸附法是利用多孔性固體物質,使水中一種或多種有害物質被吸附在固體表面而去除的方法。吸附法去除的對象為有機物、膠體、微生物、游離氯、臭味和色素等。常用的吸附劑為活性炭或大孔吸附樹脂。
6、軟化處理軟化通常采用兩種方法:一是加入藥劑使鈣、鎂轉換成溶解度小的鹽類而除去。二是用離子交換樹脂釋放鈉離子與水中鈣、鎂離子置換而使鈣、鎂鹽類變為鈉鹽,達到軟化水的目的。

集成電路用超純水處理設備
集成電路用超純水處理設備的要求
1、純水的產水量(按每小時計算)。
2、純水要求的水質(例如多少兆歐)。
3、原水進水水質是什么水(例如自來水,地表水,深井水)。
4、制作純水的工藝(工藝不一樣價格也不一樣)。
5、用于生產什么產品(例如電池片,蓄電池,玻璃行業,化妝品行業,化工行業等)。
6、集成電路用超純水處理設備的配置品牌及控制方式(PLC自動控制,手動控制)型號和數量等。












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