一、產品概述:
款 HL-650MZ-23NPPB勻膠機適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是H6勻膠機的特點。
二、勻膠機工作原理:
勻膠機 HL-650MZ-23NPPB的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
三、勻膠機 HL-650MZ-23NPPB 主要性能指標:
1、Windows 10平板電腦,SPIN 3000 PC觸摸界面軟件輕松編程;
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,(小于10mm可選配托盤);
3、轉動速度:0-12,000rpm;
4、旋涂加速度:0-13,000rpm/sec;
5、馬達旋涂轉速:穩定性能誤差<±1%;
6、轉速調節精度 lt;0.2rpm,重復性< 0.2rpm;
7、工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
9、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態;
10、分辨率:分辨率小于0.5轉/分,可重復性小于±0.5轉/分,美國國家標準技術研究院(NIST)認證過的,并且無需再校準!
11、配套真空泵系統:無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
12、水平測試儀;






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