高精度真空位移臺是為真空環境要求生產的真空電動定位臺和電動真空位移臺,采用適合真空度高達10^-6Torr的真空直流電機,所有的機械部件都使用高度真空潤滑脂潤滑,充分做到真空應用設計。
高精度真空位移臺直流電機提供更平滑的運動和閉環操作,電機減速齒輪數量多，提供高分辨率，但相應地低速度。是要求高精度又對速度限制不敏感應用d電動位移臺。
真空電動位移臺鋁零件沒有進行過陽極氧化處理。在裝運發送之前，真空電動位移臺會在真空室中進行清洗和包裝，購買后可立即置入真空室中，不會破壞真空室。清潔和包裝費要另外結算，不包括在工作臺價格內.
高精度真空位移臺規格
| 型號 | 8MT173V-10DCE | 8MT173V-20DCE | 8MT173V-25DCE | 8MT173V-30DCE |
| 行程范圍 | 10mm | 20mm | 25mm | 30mm |
| 螺距 | 0.25mm | |||
| 分辨率 | 0.1μm | |||
| 小步進增量 | 0.028μm | |||
| 雙相重復精度 | 0.4μm | |||
| 速度* | 0.16mm/s | |||
| 負載能力 | ||||
| 水平負載 | 5kg | |||
| 垂直負載 | 1kg | |||
| 真空電纜 | 標配2米 | |||
| 電機連接接口 | HDB15(M) | |||
| 電機類型 | DCE1841 | |||
| 重量 | 0.43kg | 0.46kg | 0.47kg | 0.48kg |
| 多軸位移臺系統搭建配件: | ||||
| X-Y軸搭建 | 2CP173V-20 | |||
| Z軸搭建 | 2AB173V-20 | |||
| 控制器 | 8SMC5-USB | |||
高精度真空位移臺配備有高度真空兼容的Sub-D接口連接器,9或15針連接器。連接器是玻璃制成,里面填充的是聚合物,外殼是不銹鋼,適用于高度真空10^-6毫巴和溫度高達110°C的環境。
高精度真空位移臺高度真空Sub-D連接器規格：
真空：10^-6毫巴
主體材料：DEP
溫度范圍：-55°C至110°C
針材質：鍍金銅合金
其他尺寸大小的連接器和真空密封裝置也可提供
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