這款微探針系統(tǒng)micro probe是為材料光學(xué)特性和電特性測試設(shè)計的納米級微納探針儀器,可以結(jié)合顯微鏡,光譜儀等儀器在各種環(huán)境條件下現(xiàn)場測試材料電學(xué)和光學(xué)特性,滿足真空,高溫,氣流,濕度,光照等各種特殊環(huán)境應(yīng)用,內(nèi)體積僅為100cc.

　　微探針系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

　　尺寸：W70 x L140 x H31.5mm

　　重量：650~950克

　　內(nèi)體積：100cc

　　適合真空：10^-3mbar(帶旋轉(zhuǎn)泵時）， 10^-6mbar (帶渦輪分子泵時）

　　溫度范圍：-40℃~200℃（Peltier stage), RT~1000℃（電阻加熱臺），80K~373K(低溫臺）

　　探針數(shù)量：4個,6個，8個 （可根據(jù)電極和應(yīng)用進(jìn)行多種探針布局）

　　微探針系統(tǒng)特點

　　的探針設(shè)計：探針模塊僅僅30x20x20mm,操作非常靈活,在熱擴(kuò)散引起接觸點偏移的情況下也能保持穩(wěn)定接觸

　　壓電驅(qū)動：超高穩(wěn)定性和分辨率的壓電驅(qū)動,緊湊設(shè)計,滿足微定位要求,分辨率50nm,力 1N(100g),XY行程11mm, Z軸行程4.5mm

　　探針針尖:所有探頭在探頭模塊內(nèi)部和/或外部都有彈簧結(jié)構(gòu)。在氣體流動和掃描實驗中也保持穩(wěn)定接觸, 提供50um&100μm針尖,方便接觸墊較小時選擇。為了更的探測，建議使用可選的探測臂 針尖尺寸越大，樣品夾緊力和耐久性越好。

　　微探針系統(tǒng)micro probe應(yīng)用-拉曼光譜,熱諧振頻率測量,光電流測量,TEM樣品測試等