這款極紫外EUV相機是為EUV深紫外成像而設計的EUV相機探測器和EUV深紫外相機,它與EUV成像軟件一起組成深紫外EUV成像系統..
極紫外EUV相機特點
在線EUV光束成像
各種空間分辨率
直接光束曝光保護
可定義GOI感興趣區域
可調抗異常電路
極紫外EUV相機參數CRYCAM-X1-4.2
視場FOV: 直徑2mm
空間分辨率:4.2um
工作溫度:0-40攝氏度
圖像傳感器:1/2'' COMS單色圖像傳感器
成像分辨率:1288x1032像素
像素大小:5.2x5.2um
圖像傳感器尺寸:6.7x5.4mm
幀頻:30fps
最小曝光時間:38us
動態范圍:8bit 或 10bit
像素時鐘:5~48MHZ
控制接口:MPE-GARRY MICRO-T
計算機接口:USB2.0
軟件:EUV成像軟件
閃爍體成像屏: LuAG:Ce 和或YAG:Ce熒光屏
可探測電子能量:高達40Kev
尺寸:250x45x90mm (LxWxH)
重量:1.4kg
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