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輔光精密儀器(上海)有限公司

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晶圓電阻率測(cè)試儀

產(chǎn)品二維碼
參   考   價(jià): 20
訂  貨  量: ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào):FP-MX60
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類(lèi)別:探針/示波器
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時(shí)間:2022-09-25 17:24:07
  • 瀏覽次數(shù):19
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  • 經(jīng)營(yíng)模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:992條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊(cè)時(shí)間:2017-06-23
  • 最近登錄:2022-09-25
  • 聯(lián)系人:楊經(jīng)理
  • 電    話(huà):13820163359

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

晶圓電阻率測(cè)試儀采用非接觸方式測(cè)量晶圓電阻率,測(cè)量P/N類(lèi)型和晶圓厚度,適合硅材料和其它材料的SheetResistance測(cè)量

詳情介紹

  晶圓電阻率測(cè)試儀采用非接觸方式測(cè)量晶圓電阻率,測(cè)量P/N類(lèi)型和晶圓厚度,適合硅材料和其它材料的Sheet Resistance測(cè)量。

  晶圓電阻率測(cè)試儀應(yīng)用

  晶圓制造,晶圓品控,晶圓檢測(cè)等。

  晶圓電阻率測(cè)試儀規(guī)格參數(shù)

  晶圓電阻率測(cè)試儀-低電阻測(cè)量

Gauge TypesWafer Diameter精度重復(fù)精度Resistivity RangeThickness Range說(shuō)明
MX 604 / MX 604-Bsilicon blocks±3%0.25 - 25 Ohm*cm
MX 604-S2" - 8"±3%0.5%0.1 - 50 Ohm/square200 - 900μm
MX 604-ST125x125, 156x156mm

  2"-6"

  

±5%0.06 - 30 Ohm*cm60 - 300μm
MX 6086", 8"0.001 - 200 Ohm*cm500 - 800μm厚度,TTV,電阻率,P/N摻雜
MX 608-q125x125, 156x156mm0.1 - 50 Ohm*cm150 - 350μm厚度,TTV,電阻率
MX 60128", 12"0.001 - 200 Ohm*cm600 - 900μm厚度,TTV,電阻率,P/N摻雜

  晶圓電阻率測(cè)試儀-低電阻測(cè)量

Gauge TypesWafer DiameterResistivity RangeThickness Range
MX 601up to 6"5E4 to 5E9 Ohm*cm350 - 650μm
MX 60102", 3", 4"2E5 to 2E9 Ohm*cm300 - 600μm
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