RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀
RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結果。
儀器采用了*新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。
RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔；
可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動測量功能，自動選擇適合樣品測試電流量程；
高速并口通訊接口，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）；
RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀
RTS-8型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀
| 測量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴展)； |
| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； |
| 恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調 |
| 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； |
| 四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm； |
| 四探針探頭應用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
| 模擬電阻測量相對誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
| 整機測量*大相對誤差 | (用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
| 整機測量標準不確定度 | ≤5% |
| 測試模式 | 可連接電腦測試也可不連接電腦測試 |
| 軟件功能（選配） | 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
| 計算機通訊接口 | 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。 |
| 標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； |
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