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小型快速熱退火爐

產品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準
  • 產品型號:MILA-5000Series
  • 品牌:
  • 產品類別:實驗室儀器
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2022-10-06 14:32:15
  • 瀏覽次數:20
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凱戈納斯儀器商貿(上海)有限公司

其他

  • 經營模式:其他
  • 商鋪產品:29條
  • 所在地區:
  • 注冊時間:2017-08-28
  • 最近登錄:2022-10-06
  • 聯系人:Vicky
  • 電    話:021-58362582

產品簡介

小型快速熱退火爐已經成為半導體、鐵電體以及鍍膜行業的重要退火技術。但是目前,只有大型的、昂貴的生產設備才能完成快速熱處理,這大大降低了研發工作的效率(尤其是小的樣品)。為了滿足市場的需求,ADVANCE RIKO研發出MILA-5000系列的小型快速退火爐。此系列的設備包含紅外金面反射爐和高精度的溫度控制器。根據需求選配相應的泵和氣體接口,MILA能提供與大型RTP設備相同的熱處理性能。

詳情介紹

詳情介紹:

型號

MILA-5000Series

溫度范圍:

室溫~1200℃(*高)

*大加熱功率:

50℃/s(50~1200℃)真空

45℃/s(50~1200℃)氮氣氛圍

溫度均勻性:

±2.0℃(ΔT=4℃)1200℃真空

±4.5℃(ΔT=9℃)1200℃氮氣氛圍

加熱氣氛:

大氣、真空、惰性氣氛環境下

試樣尺寸:

MAX:50 square or φ 50 x T5 (mm)

程序模組:

溫度VS時間設定、Step數256、Program數32(*大);

PID+Fuzzy控制、自動微調、USB通訊、自動/手動切換;

 

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