產品型號

  1700℃立式淬火爐GSL-1700X-80VTQ

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風裝置：需要

1700度立式管式淬火爐主要特點

1、雙層不銹鋼殼體，并采用1800℃級高純度氧化鋁纖維絕熱。

2、爐管配有絕熱管堵，減少管內向外熱輻射。

3、爐管頂部配裝帶有不銹鋼針閥的密封法蘭，底部配有閘板閥、真空計、KF25真空接口。

4、頂部法蘭配有電磁鐵，可懸掛質量約500g的樣品，當按下溫控單元上的電磁吸盤按鈕時，樣品就會墜入淬冷水箱內。

5、采用下置淬冷水箱，便于立即淬火。

6、采用與爐體分離式的獨立溫控單元，PID控制器，可設置30段升降溫程序，并內置超溫報警保護裝置，以及  RS485通信端口。

7、已通過CE認證，所用電器元件（>24V）已通過UL、MET、CSA認證。

1700度立式管式淬火爐技術參數

1、電源：單相AC 220V   50Hz/60Hz  4KW

2、爐管：99.8%高純度氧化鋁管，內徑Ø74mm，外徑Ø80mm，長850mm

3、加熱元件：4根1800℃級U型硅鉬棒

4、加熱區域：200mm

5、恒溫區域：65mm，精度±5℃

6、工作溫度：1700℃（<1h），連續工作800℃-1650℃

7、升降溫速率：1200℃以上時為5℃/min，1200℃以下時為10℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、真空度：機械泵50mtorr，渦輪分子泵10-5torr

產品規格

尺寸：1080mm×650mm×1500mm；重量：190kg

標準配件

1.氧化鋁管1根

2.氧化鋁管堵4個

3不銹鋼法蘭1套

4熱電偶1個

可選配件

1、PC控制軟件

2、不銹鋼卡套接頭

3、分子泵

注意事項

1、在釋放樣品前，必須先向爐管內充入5psi氬氣，再打開閘板閥。

2、硅鉬棒是在高溫氧化性氣氛下使用的。在高溫氧化氣氛中，其表面生成一層光亮致密的SiO2玻璃膜，能夠保護硅鉬棒內層不再氧化。因此，不得在400℃-700℃之間使用，否則將會低溫氧化致使毀壞。

3、氣氛氣體輸入端必須裝配減壓閥。在連續通氣時，輸出壓設置在3psi以下。若壓力水平超過3psi將會對爐膛造成不可逆的損害。

4、如若爐內是正壓條件，且未開啟放氣閥時，切勿進行加熱。在加熱過程中要實時觀測真空計，一旦爐內壓力  接近3psi，請立即打開放氣閥，避免不可預見的損壞。

5、氣體的流量應限于<200SCCM（200ml/min）。

6、氧化鋁管的真空極限定義為：在管內溫度達到1500℃時為止，皆視為安全真空壓力范圍。