- 產品描述
氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，保證不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市*成果轉化項目。
氟的技術指標：
| 項目 | 指標 | |
| 氟（F2）（體積分數）/10-2 | ≥ | 99 |
| 氧（O2）+氮（N2）（體積分數）（N2）/10-2 | ≤ | 0.45 |
| 四氟化碳（CF4）（體積分數）/10-2 | ≤ | 0.05 |
| *（HF）（體積分數）/10-2 | ≤ | 0.5 |
氟氮混合氣的技術指標：
| 項目 | 指標 | |
| 氟（F2）（體積分數）/10-2 | 20 | |
| 氮（N2）（體積分數）（N2）/10-2 | 80 | |
| 氧（O2）（體積分數）（N2）/10-2 | ≤ | 0.08 |
| 四氟化碳（CF4）（體積分數）/10-2 | ≤ | 0.03 |
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