SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn) 高4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/p>

　　SJ6000激光干涉儀特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)

　　精度高

　　SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

　　功能廣

　　n 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

　　n 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

　　n 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

　　n 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

　　n 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

　　n 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

　　軟件強(qiáng)

　　n 友好的人機(jī)界面；

　　n 豐富的應(yīng)用功能模塊；

　　n 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

　　n 簡潔化的記錄管理；

　　n 支持中文、英文和俄文界面；

　　n 支持企業(yè)專屬模板定制。

　　標(biāo)準(zhǔn)多

　　內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

　　SJ6000激光干涉儀主要技術(shù)指標(biāo)

　　主機(jī)

　　穩(wěn)頻精度：0.05ppm

　　動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

　　預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

　　工作溫度范圍：(0~40)℃

　　存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

　　環(huán)境濕度：(0~95)%RH

　　環(huán)境補(bǔ)償單元

　　空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

　　材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

　　空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH

　　大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

　　線性測(cè)量

　　測(cè)量距離：(0~80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)

　　測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃

　　測(cè)量分辨力：1nm

　　測(cè)量 大速度：4m/s

　　角度測(cè)量

　　軸向量程：(0~15)m

　　測(cè)量范圍：±10°

　　測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)

　　測(cè)量分辨力：0.1″

　　平面度測(cè)量

　　軸向量程：(0~15)m

　　測(cè)量范圍：±1.5mm

　　測(cè)量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)

　　基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

　　測(cè)量分辨力：0.1μm

　　直線度測(cè)量

　　垂直度測(cè)量