靈活的探測，4步工作流程，高級的分析性能

將高級的分析性能與場發射掃描技術相結合，利用成熟的 Gemini 電子光學元件。多種探測器可選：用于顆粒、表面或者納米結構成像。Sigma 半自動的4步工作流程節省大量的時間：設置成像與分析步驟，提高效率。

用于清晰成像的靈活探測

• 利用探測術為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。

• 利用 in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息。

• 利用新一代的二次探測器，獲取高達50%的信號圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創新的 C2D 和 可變壓力探測器，在低真空環境下獲取高達85%對比度的銳利的圖像。

自動化加速工作流程

• 4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環境中，從快速成像和節省培訓首先，先對樣品進行導航，然后設置成像條件。

• 首先，先對樣品進行導航，然后設置成像條件。

• 接下來對樣品感興趣的區域進行優化并自動采集圖像。后使用工作流程的后一步，將結果可視化。

高級分析型顯微鏡

• 將掃描電子顯微鏡與基本分析相結合：Sigma 背散射幾何探測器大大提升了分析性能，特別是對電子束敏感的樣品。

• 在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數據。

• 獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結果。

基于成熟的 Gemini 技術

• Gemini 鏡頭的設計結合考慮了電場與磁場對光學性能的影響，并將場對樣品的影響降至更低。這使得即使對磁性樣品成像也能獲得出色的效果。

• Gemini in-lens 的探測確保了信號探測的效率，通過二次檢測(SE)和背散射(BSE)元件同時減少成像時間。

• Gemini 電子束加速器技術確保了小的探測器尺寸和高的信噪比。

用于清晰成像的靈活探測

• 利用新的探測技術表征所有的樣品。

• 在高真空模式下利用創新的 ETSE 和 in-lens 探測器獲取形貌和高分辨率的信息。

• 在可變壓力模式下利用可變壓力二次電子和 C2D 探測器獲取銳利的圖像。

• 利用 aSTEM 探測器生成高分率透射圖像。

• 利用 BSD 或者 YAG 探測器進行成份分析。

配件

SmartEDX

為您帶來一體化能譜分析解決方案

如果單采用SEM成像技術無法全面了解部件或樣品，研究人員就需要在SEM中采用能譜儀（EDS）來進行顯微分析。通過針對低電壓應用而優化的能譜解決方案，您可以獲得元素化學成分的空間分布信息。得益于：

• 優化了常規的顯微分析應用，并且由于氮化硅窗口的透過率，可以探測輕元素的低能X射線。

• 工作流程引導的圖形用戶界面地改善了易用性，以及多用戶環境中的重復性。

• 完整的服務和系統支持，由蔡司工程師為您的安裝、預防性維護及保修提供一站式服務。

拉曼成像與掃描電鏡聯用系統

集成化的拉曼成像

在您的數據中加入拉曼光譜及成像結果，獲得材料更豐富的表征信息。通過擴展蔡司Sigma 300，使其具備共聚焦拉曼成像功能，您能夠獲得樣品中的化學指紋信息，從而指認其成分。

• 識別分子和晶體結構信息

• 可進行3D分析，在需要時可關聯SEM圖像、拉曼面掃描成像和EDS數據。

• 集成RISE讓您體驗由的SEM和拉曼系統帶來的優勢。