進口工業自動化設備供應商,國外原廠地采購,有供貨周期,價格需要人工核實。
theta-SE 是用于表征薄膜均勻性的按鈕式光譜橢偏儀。它以實惠的價格在緊湊的包裝中提供*的橢偏儀。為什么是Θ-SE?
集成
theta-SE 配備了 300 mm 樣品映射、小光斑測量光束、快速樣品對準、俯視相機和我們的雙旋轉橢偏儀技術。Theta-SE 擁有測量薄膜厚度和光學特性的空間均勻性所需的一切。
高速
通過使用快速點對點平移、高速樣品對齊和雙旋轉橢偏儀技術來優化樣品通量,以實現連續數據收集。
袖珍的
獲得的 Dual-Theta 旋轉臺可在小型桌面儀器中實現 300 毫米的完整映射。儀器占地面積僅略大于 300 毫米晶圓。
方便使用的
自動數據分析和內置報告支持按鈕操作和快速訪問測量結果。
經濟實惠
theta-SE 以合理的價格提供光譜橢偏儀和 300 mm 均勻度映射的*功能。











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