廣泛應用于半導體晶圓、液晶、圓盤和其他需要清潔空氣條件的部件和設備的熱處理/干燥或燃燒。這些裝置也可以準備在潔凈室環境中安裝。100 類清潔是通過使用 HEPA 過濾器和背靠背層壓循環系統實現的。高性能型號（帶 MS 后綴）即使在加熱或冷卻期間也提供穩定的性能。
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廣泛應用于半導體晶圓、液晶、圓盤和其他需要清潔空氣條件的部件和設備的熱處理/干燥或燃燒
廣泛應用于半導體晶圓、液晶、圓盤和其他需要清潔空氣條件的部件和設備的熱處理/干燥或燃燒。這些裝置也可以準備在潔凈室環境中安裝。100 類清潔是通過使用 HEPA 過濾器和背靠背層壓循環系統實現的。高性能型號（帶 MS 后綴）即使在加熱或冷卻期間也提供穩定的性能。
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