自動橢圓偏振測厚儀 型號:TPY-II 金洋萬達(dá)
儀器介紹
TPY-2自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動控制,自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度和靈敏度更高等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
技術(shù)參數(shù):
| 測量范圍 | 薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10 |
| 測量厚度示值 | ≤1nm |
| 偏振器方位角范圍 | 0°- 180°讀取分辨率為° |
| 偏振器步進(jìn)角 | °/步 |
| 測量膜厚 | ±1nm |
| 折射率重復(fù)性精度 | ± |
| 度盤刻度 | 每格1度 |
| 儀器測量精度 | ±(薄膜厚度在10-100nm時) |
| 入射角調(diào)節(jié)范圍 | 20°~90°精度為° |
| 入射光波長 | |
| 光學(xué)中心高 | 80mm |
| 允許樣品尺寸 | φ10-φ140mm(或任意形狀),厚度≤15mm |
| 外形尺寸 | 590*390*320mm |
| 主機(jī)重量 | 28KG |
配置清單:
橢圓偏振測厚儀主機(jī) 1臺
主機(jī)電控箱 1套
二氧化硅膜樣片 1片
橢圓偏振測厚儀軟件 1套
選配:計(jì)算機(jī)及打印機(jī) 1套
承諾:質(zhì)量服務(wù)承諾:
1.期一年,終生免費(fèi)維護(hù)。
2.在期內(nèi),除人為因素外,任何因儀器設(shè)計(jì)、材料或工藝不當(dāng)引起的缺陷、故障我們免費(fèi)修理或更換。
3.接到用戶通知所提供的儀器出現(xiàn)故障后,十分鐘內(nèi)回應(yīng).
4.保證及時向用戶以優(yōu)惠的提供所需的備品備件和易













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