ruker探針式表面輪廓儀/臺階儀DektakXT表面輪廓/薄膜厚度/應力/粗糙度等測量系統

布魯克公司的Dektak XTL™探針式輪廓儀系統可容納多達350毫米x350毫米的樣品，將的重復性應用到大尺寸晶片及面板制造業。Dektak XTL集成氣體隔震裝置和方便的交互鎖裝置使儀器在全封閉工作環境下運行，可應對復雜的生產環境。它的雙攝像頭設置和高水平自動化功能可限度提高生產量。布魯克公司的具有圖形識別功能的Vision64®軟件以及自動化生產接口，可滿足IC級用戶需求，使數據采集成為一個自動化的過程，限度地降低操作員的變化帶來的影響。

1. 的測試重復

   DektakXT™探針輪廓儀的設計保證了其的性能，測量重復性達到5 埃以下；

   單拱龍門式設計更堅固持久不易損壞，大大降低了周圍環境中聲音和震動噪聲對測試信號的影響

   
   

   *的儀器的智能化電子器件，提高了工作性能的穩定性，測量誤差降低到小；

2、簡便*的操作系統

• 新穎的探針和部件自動對準裝置，避免了探針損傷；

• 具有超微力（NLite+）測量功能，可以保證在測量時不破壞樣品表面；

• 換針技術，提高操作的簡便性；

• *的服務，提供各種標準探針和特制探針；

• 3、豐富的數據采集和分析系統

• 高速的直接驅動掃描樣品臺，縮短了掃描的間隔時間，數據采集處理速度提高了40%；

• 采用具有64位數據并行處理的軟件Vision64，提高了大范圍3D 形貌圖的處理速度；

各種數據分析功能的操作簡便、快捷，使用者可以快速高效地進行分析。