VG掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)EV6200 INFINITY EVG6200NT

EV Group NT系列

： EVG620NT , EVG6200NT

EVG推出了新一代的EVG620NT和EVG6200NT系列曝光機(jī)——EVG620NT的曝光范圍從小5mm到150mm，EVG6200NT曝光范圍從3英寸到200mm。EVGNT系列高質(zhì)量的體現(xiàn)了新的技術(shù)發(fā)展水平，包括了一個(gè)花崗石底座，主動(dòng)隔離防震平臺(tái)和線性驅(qū)動(dòng)位移馬達(dá)使其可以達(dá)到更高的精度和產(chǎn)出。基于EVG靈活和多功能的曝光平臺(tái)，在R&D和批量生產(chǎn)之間的工藝轉(zhuǎn)換（手動(dòng)模式到全自動(dòng)）此新系統(tǒng)使用戶可以輕松地得以實(shí)現(xiàn)。批量生產(chǎn)的實(shí)現(xiàn)和曝光精度的提高——達(dá)到，再加上實(shí)時(shí)曝光精度的檢測(cè)系統(tǒng)（可選項(xiàng)），這樣為用戶提供了一個(gè)重要的更好的成本效益控制方案。